FETS-2000是一款擴(kuò)展靈活的鐵電綜合測試系統(tǒng) TSDC/TSC測試，既可以測試電滯回線計(jì)算儲(chǔ)能密度，并具有測試熱刺激電流TSDC/TSC的功能。可廣泛地應(yīng)用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜、體材料和電子陶瓷、鐵電傳感器/執(zhí)行器/存儲(chǔ)器等領(lǐng)域的研究。

鐵電參數(shù)測試主要性能指標(biāo)：

a. 外接5 kV高壓放大器（可擴(kuò)展至10 kV）（國產(chǎn)、進(jìn)口均適用）；

b. 動(dòng)態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 5 kHz；

c. 最大電荷解析度：10 mC（可擴(kuò)展）；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負(fù)載電容1 nF）；

e. TSDC/TSC電流測量范圍 1 pA ～ 1uA（可擴(kuò)展），分辨率10 fA；

f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊；

g.溫度范圍：-160℃～260℃。

本測試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器、變溫綜合測試平臺(tái)（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺(tái)（配高壓探針）、計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器、內(nèi)置驅(qū)動(dòng)電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、通訊總線等功能，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測試時(shí)，無需改變測試樣品的連接，即可實(shí)現(xiàn)滯回，脈沖，漏電，IV等性能測試。

本測試系統(tǒng)鐵電性能測試采用改進(jìn)的Sawyer- Tower測量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對(duì)測試的影響環(huán)節(jié)，容易定標(biāo)和校準(zhǔn)，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測量準(zhǔn)確度。

鐵電綜合測試系統(tǒng) TSDC/TSC測試采用模塊化設(shè)計(jì)，不同的模塊對(duì)應(yīng)不同的電特性測量。主要功能有：

動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

靜態(tài)電滯回線SHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

電擊穿強(qiáng)度BDM

高壓漏電流測試LM

TSDC/TSC測試

電流-偏壓

保持力RM

印跡印痕IM

變溫測試THM。